膜基性能匹配对硬质薄膜摩擦学行为的影响

2020-04-21 10:44 邵天敏
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硬质薄膜常被用于提高零部件的摩擦学性能,但在设计和选择薄膜材料和制备方法时,往往忽视基体材料与薄膜材料的性能匹配。研究表明,硬质薄膜与基体材料性能上的差异会在很大程度上影响薄膜的摩擦学行为,在一些情况下,硬质薄膜会导致基体更容易发生塑性变形而降低膜基系统的整体性能,即所谓的弱化效应。本文介绍弱化效应的基本概念,利用物理气相沉积方法在不同的基体上制备了硬性薄膜,试验研究了膜基材料的性能匹配对薄膜摩擦学行为的影响。利用计算机模拟,研究了不同的膜基结构对膜基系统能力的影响规律。

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